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伊測產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀

  • 產(chǎn)品型號:BD-86A
  • 產(chǎn)品廠商:上海虹運檢測
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀 它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。
詳情介紹:

BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀
   BD-86A型半導(dǎo)體電阻率測試儀是我廠推出的*新的普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器,本儀器是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查,根據(jù)美國ASTM標準的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破,它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。
   儀器主要技術(shù)指標:
1 測量范圍:電阻率10-3103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm
 方塊電阻10-2104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4105Ω,分辯率為10-4Ω
2.可測半導(dǎo)體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長度:150mm(可擴展500mm)
     3.測量方式:軸向、斷面均可
4.?dāng)?shù)字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V
             2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±1
             3)輸入阻抗:大于108Ω
             4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示
                  0---1999具有極性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示
5.恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能
1       直流電流:0—100mA連續(xù)可調(diào)
2       量程:10μA、100μA、1mA10mA、100mA
3       分辯率:10nA、0.1μA1μA、10μA、0.1mA
4       電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2
6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM指標
7.測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指標
8.電源:交流220V±10%   50HZ60HZ  功率消耗< 30W
9.電氣箱外形尺寸:119×440×320mm
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